什么是真空計？

真空計，也稱為真空表計和真空規管，是通過測量真空下氣體的壓力來判斷真空度的高低，廣泛用于科研和工業生產。

根據真空計測量原理所采用的不同物理機制，真空計主要可分為三類：利用力學性能（如波爾登真空計和薄膜電容規）、利用氣體動力學效應（如皮拉尼電阻規和熱電偶規）和利用帶電粒子效應（熱陰極電離規和冷陰極電離規）。

工業上按照真空度的大小劃分為以下幾個等級：

· 低真空 10^5~10^2pa

· 中真空 10^2~10^-1 pa

· 高真空 10^-1~10^-5 pa

· 超高真空 ＜10^-5 pa

對于每一個等級內的真空度，最佳的測量儀器是不一樣的，具體來說，若處于中低真空的范圍，通常選用皮拉尼規真空計、電容式薄膜真空規和壓阻式真空規進行測量。

皮拉尼復合真空計

基于熱導式原理，在玻璃管殼中安裝一根金屬絲，給金屬絲通熱發電，使其溫度高于周圍氣體和管殼的溫度，于是在熱絲和管殼之間產生熱傳導。當達到熱平衡時，熱絲的溫度決定于氣體熱對流。在一定的壓力范圍內，氣體壓力越高，傳導的熱量就越多，熱平衡后金屬絲溫度就越低。即電阻絲的溫度與氣體壓力存在負相關的關系，通過金屬絲的溫度可以計算氣體壓力。

集成了先進的氣壓傳感器模塊和 MEMS 皮拉尼真空傳感器芯片，配備了彩色液晶顯示屏 （TFT-LCD）和直觀的按鍵控制，支持 Pa、Torr、mbar 三個常用單位的切換，提供模擬電壓輸出和 RS485 通信協議， 配備了標準的 KF16 壓力接口，方便用戶與各種設備和系統進行連接和數據交換。

電容薄膜真空規

膜片因壓力變化而發生彈性偏移，偏移量的變化引起電容量的變化，最后由數字電路測量并轉換成輸出信號。CPCA系列電容薄膜真空規，可耐受腐蝕性工藝介質。

壓阻式真空規

壓阻式真空規的工作原理基于半導體材料的壓阻效應。當外部壓力作用在真空規內部的金屬膜片上時，金屬膜片會發生微小的形變，導致內部電路中的電阻值發生變化。這種電阻值的變化可以精確地測量出來，并轉換成相應的壓力或真空度值。

蘇州昀控電子科技有限公司是一家專注做電容薄膜真空計的廠家，是上海振太的代理商，振太真空計是薄膜真空計的行業標準制定者，產品有多個系列，可以替代進口MKS 和英福康等品牌，目前CPCA-300Z 防爆型真空計在核工業 半導體 航空航天等多個領域有應用。