?電容薄膜真空計（Capacitive Diaphragm Gauge, CDG）的核心特點是：絕對壓力測量、與氣體成分無關(guān)、高精度、高穩(wěn)定性、寬量程（通常 10?? 至 10? Pa）及良好抗過壓與耐腐蝕能力。???

• ?絕對壓力測量?：直接反映氣體全壓，不依賴氣體種類（非熱傳導(dǎo)或電離原理），可作低真空段（約 0.01–100 Pa）副標(biāo)準(zhǔn)。

• ?高精度與線性好?：重復(fù)性和線性度通常優(yōu)于 ±0.1% FS，響應(yīng)快、無熱效應(yīng)，適合精密控制與校準(zhǔn)。

• ?抗干擾性強?：耐腐蝕（常采用不銹鋼、因科鎳合金或陶瓷膜片）、可耐大氣沖擊甚至短時暴露于常壓（部分型號支持“過壓保護(hù)"）。

• ?溫度穩(wěn)定性較好?：現(xiàn)代產(chǎn)品集成溫度補償，溫漂約 ±0.02%–0.2%/°C（視設(shè)計而定），但溫度仍需防護(hù)。

• ?結(jié)構(gòu)牢固、可烘烤?：金屬或陶瓷膜片設(shè)計支持高真空系統(tǒng)原位烘烤（通常 ≤150°C），適用于半導(dǎo)體、鍍膜等潔凈工藝。

• ?局限性?：對安裝方位敏感（重力影響膜片形變）、需定期校準(zhǔn)零點、不適用于超高真空（<10?? Pa），且膜片污染（如粉塵、油霧）不可逆影響精度。??

廣泛用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研，及高純工藝中對?低至中真空段精確、穩(wěn)定、無成分依賴?測壓的場景

蘇州昀控電子科技有限公司電容薄膜真空計在半導(dǎo)體，核工業(yè)，軍工，大規(guī)模集成電路上均有應(yīng)用。