電容薄膜式真空計(jì)是用于量測(cè)真空度的常用儀器，其量程范圍可達(dá)25000Torr~10-5Torr左右，

其量程范圍大，測(cè)量精度高；可直接測(cè)量壓力，與氣體的組分沒(méi)有關(guān)系，靈活性高，

因此在半導(dǎo)體設(shè)備中應(yīng)用非常廣泛，主要應(yīng)用于刻蝕、PVD、CVD、爐管（Furnace）等真空設(shè)備中

，一般在腔體與控壓裝置之間的管道上方(CKD forline)垂直安裝。

電容薄膜式真空計(jì)由薄膜（上表面鍍有金屬）、電極、吸氣泵、傳感器等構(gòu)成

吸氣泵主要用于將參考腔體中的氣體抽走，制造高真空的環(huán)境；

薄膜（一般為陶瓷薄膜，Al2O3,厚度約250μm）與電極形成電容，

當(dāng)測(cè)量腔體的氣體從真空計(jì)下端進(jìn)入測(cè)量腔體后，氣體會(huì)擠壓陶瓷薄膜，

從而改變薄膜與電極之間的距離，因其電容值的變化，轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)，進(jìn)而換算成壓力值，

從而測(cè)量出腔體中的真空度。