真空計的分類：亦稱電容薄膜式壓力計 (CDG)），適用于在光伏、半導體及工業市場中測量對過程控 制至關重要的低真空壓力范圍。根據彈性薄膜在壓差作用下產生形變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容薄膜真空計。它由電容式薄膜規管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。

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