各類薄膜規(guī)真空壓力計(jì) 流量計(jì)

真空計(jì)的分類：

（亦稱電容薄膜式壓力計(jì) (CDG)），適用于在光伏、半導(dǎo)體及工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過程控 制至關(guān)重要的低真空壓力范圍。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生形變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容薄膜真空計(jì)。它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。

　　如下圖所示為零位法電容式薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖。由電容式薄膜規(guī)管、測(cè)量電橋電路、直流補(bǔ)償電源、低頻振蕩器、低頻放大器、相敏檢波器和指示儀表等組成。

　　電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬?gòu)椥阅て谀て囊粋?cè)裝有一個(gè)固定電極，當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為零時(shí)，固定電極與膜片形成一個(gè)靜態(tài)電容C0，它與電容C1串聯(lián)后作為測(cè)量電橋的一條橋臂，電容C2、C3、C4與C5的串聯(lián)組成其他三條橋臂。

　　金屬?gòu)椥阅て瑢⒈∧ふ婵沼?jì)隔離成兩個(gè)室，分別為接被測(cè)真空系統(tǒng)的測(cè)量室和接高真空系統(tǒng)（pb<10-3Pa）的參考?jí)毫κ摇Ｔ谶@兩個(gè)室的連通管道上設(shè)置一個(gè)高真空閥門7。測(cè)量時(shí)，先將閥門7打開，用高真空抽氣系統(tǒng)將規(guī)管內(nèi)膜片兩側(cè)的空間抽至參考?jí)毫b，同時(shí)調(diào)節(jié)測(cè)量電橋電路，使之平衡，即指示儀表指零。

　　然后，關(guān)閉閥門7，測(cè)量室接通被測(cè)真空系統(tǒng)。當(dāng)被測(cè)壓力p1 >pb時(shí)，由于規(guī)管中的壓力差p1-pb，膜片發(fā)生應(yīng)變引起電容C0改變，破壞了測(cè)量電橋電路的平衡，指示儀表上亦有相應(yīng)的指示。調(diào)節(jié)直流補(bǔ)償電源電壓對(duì)電容C0充電，使其靜電力與壓差相等，此時(shí)，電橋電路重新達(dá)到平衡，指示儀表又重新指零。根據(jù)補(bǔ)償電壓的大小，就能得出被測(cè)壓力p1，故有