27×22×25mm（長(zhǎng)寬高）超小封裝尺寸

高精度、高分辨率控制，控制精度±0.2%

控制量程范圍-15～150 PSIG

RS-485 Modbus RTU通信模式

Epc微壓力控制器/電子壓力控制器采用電磁比例閥，使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快

y應(yīng)用領(lǐng)域  氣相和液相色譜儀

半導(dǎo)體工藝

環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備 (如VOC S 等 )

微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置 (CVD)'D)

反應(yīng)器壓力控制

氣體發(fā)生器

氣體流量控制

Epc微壓力控制器/電子壓力控制器核心優(yōu)勢(shì)：
采用的控制算法與高靈敏度傳感器，實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定的壓力設(shè)定與控制。具備優(yōu)異的重復(fù)精度與長(zhǎng)期穩(wěn)定性，適用于對(duì)壓力控制有苛刻要求的工藝場(chǎng)景，如半導(dǎo)體薄膜沉積、氣體混合配比、閥門校準(zhǔn)等。

價(jià)值體現(xiàn)：提升工藝一致性，保障產(chǎn)品良率，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的精細(xì)化管控。

高性能MFC質(zhì)量流量計(jì)/控制器

核心優(yōu)勢(shì)：提供從標(biāo)準(zhǔn)型到高精度型的全系列產(chǎn)品，測(cè)量與控制范圍寬廣，響應(yīng)迅速。具備出色的線性度與低零點(diǎn)漂移特性，支持多種通訊協(xié)議，能與各類工業(yè)系統(tǒng)無(wú)縫集成。

價(jià)值體現(xiàn)：實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體流量的精確計(jì)量與動(dòng)態(tài)控制，是優(yōu)化反應(yīng)過(guò)程、提高資源利用率、確保安全與環(huán)保排放的關(guān)鍵部件。

電容薄膜式真空計(jì)

核心優(yōu)勢(shì)：采用穩(wěn)定性的電容薄膜傳感器，實(shí)現(xiàn)從大氣壓到真空度的寬量程精確測(cè)量。幾乎不受氣體種類影響，讀數(shù)精準(zhǔn)，尤其適用于需要監(jiān)測(cè)高純、腐蝕性或多組分氣體的真空環(huán)境。

價(jià)值體現(xiàn)：為真空工藝腔室、鍍膜設(shè)備、分析儀器等提供可靠的過(guò)程“眼睛"，是保障真空工藝質(zhì)量與可重復(fù)性的基石。