GF03C質量流量計/控制器

應用領域Fields of Application

氣相和液相色譜儀04半導體工藝環境監測設備口微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)口氣體發生器口配氣混氣系統口生物發酵

昀控￥86

GF03-500-N-24-1SN:GF230801

DB9接口定義

FLOW

特點Peculiarity

可用量程01最大0-200slpm最小0-10sccm

滿量程精度04±1%

低功率功率<3W

寬量程比02

100:1

高重復性05

±0.2%FS

08自帶溫度補償

補償范圍0-50°C

快速響應03

<100ms

讀取精度06

±1.5%

09無需預熱

工作原理10層流壓差式原理

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功能介紹

Function Introduction

功能說明

流量控制可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制

累計流量

可通過Modbus-RTU協議讀取累計流量

多種量程選擇最小量程10 SCCM，最大量程200 SLPM

內置40種基本氣體 內置40種基本氣體，氣體種類可定制

10種自定義混合氣 可根據使用需求，自定義混合氣

模擬控制

0-5V或者4-20mA模擬控制信號輸入輸出。

數字控制

使用RS-485通信控制。

標準Modbus-RTU RS-485通信采用標準 Modbus-RTU通信協議

參數自整定

設定值記憶功能

閥控功能

多臺設備串聯

自定義波特率

壓力控制

累計流量控制

可辨識負載變化，自動調整至最佳PID控制參數

開啟該功能后，MFC可記錄斷電前最后一次設定值，再次通電直接執行該設定值

可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能

通過更改通信地址，可實現多臺設備串聯控制

可通過 Modbus-RTU設置自定義波特率

可自由切換流量、壓力控制。

可實現設定氣體流速下的累計流量定量控制。

通信協議兼容原型號(GT130D/GT180)設定流量和讀取流量。

選型參考Selection Reference

使用方式控制方式正壓使用空=RS485/0~5V=鋁底座銅閥N=負壓使用A=RS485/4~20mA2=不銹鋼底坐銅閥3一不銹鋼底座不銹鋼閥=不銹鋼材質全氟橡膠=不銹鋼鈍化全氣橡膠

量程范圍

基本型號

材質

010=10SCCM020=20 SCCM050=50 SCCM100=100.SCCM200-200 c00M500=500 SCCM11=1 SI PM2L=2 SLPM5L=5.SLPM10L=10 SLPM20L=20 SLPM30L=30SLPM50L=50 SLPM100L=100 SLPM200L=200 SLPM

GFO3流量計GFO3C流量控制器F03C=RS485/0~5VSF03CV=RS485/4~20mA

以上為常規型號產品，可根據使用情況進行定制