電容薄膜真空計是利用膜片位移引起電容量變化測量壓力的精密儀器，廣泛應用于真空技術、半導體制造、航空航天等領域。由于儀器性能易受環境、安裝方式及使用時間影響，需通過定期校準保證測量精度。本規范的核心目標是：

明確校準的技術要求與操作流程，消除因方法差異導致的測量偏差；

規定計量特性（如修正因子、零位變化量）的評價方法，為儀器性能評估提供依據；

指導校準結果的不確定度評定，確保測量結果的可追溯性與可信度。

三、主要內容解析

（一）適用范圍與引用文件

適用范圍：覆蓋測量范圍0.1Pa~133kPa的絕壓電容薄膜真空計（參考端封閉，測量絕對壓力）和差壓電容薄膜真空計（參考端開放，測量壓力差）。

引用文件：以JJF 1001—2011《通用計量術語及定義》、ISO/TS 3567:2011《真空計—與標準真空計直接比對的校準》等為基礎，確保與國際標準接軌，同時結合國內真空技術發展需求細化技術指標。

（二）術語與計量單位

規范明確了關鍵術語的定義，如：

電容薄膜真空計：利用膜片受壓差位移導致電容量變化測量壓力的儀器；

校準室：為標準真空計與被校準儀器提供共同真空環境的真空室；

修正因子：標準壓力值與儀器測量值之比（反映儀器示值偏差）；

分子流/粘滯流/過渡流：描述氣體分子運動狀態的術語，影響校準方法選擇。

計量單位統一采用國際單位制（SI），以**帕斯卡（Pa）**為基本單位，允許使用其十進倍數單位（如mPa、kPa）。

（三）計量特性

規范規定了兩項核心計量特性：

修正因子：需通過校準確定，其不確定度應逐點給出，反映儀器在不同壓力點的示值準確性；

零位變化量：校準前后零點示值的偏差，用于評估儀器零點穩定性（尤其對1Pa以下低壓測量至關重要）。

（四）校準條件

環境條件：

溫度：(23±5)℃，波動度≤1℃；

濕度：≤80%RH；

無熱源、強電磁場、振動及明顯氣流干擾。

測量標準與設備：

標準裝置：需滿足相對擴展不確定度優于客戶要求，包括氣體活塞壓力計（10Pa~100kPa，Urel=0.20%~0.01%）、靜態膨脹法真空標準裝置（0.1Pa~100kPa，Urel=1.0%~0.1%）等；

配套設備：電離真空計（用于零點調節）、電壓表/電流表（測量信號輸出）、溫度記錄儀（監測環境溫度）等，需符合精度與功能要求。

（五）校準項目與方法

校準項目：

零位變化量：評估儀器零點穩定性；

修正因子：確定儀器示值與標準壓力值的對應關系。

校準流程：

準備工作：

安裝：絕壓規直接連接校準系統，差壓規需外接泵抽氣并保持參考端壓力低于分辨力，安裝時需避免振動、檢漏并記錄方位；

通電檢查：測量上限≥大氣壓的儀器可直接通電，否則需先抽氣至壓力低于上限；

預熱：高精度儀器（標稱最大允差<0.1%）預熱≥12h，其他儀器按說明書要求；

預加載與調零/滿度：升壓至測量上限后抽空（消除遲滯），抽空至分辨力以下調零，必要時充入氣體至上限調滿度。

修正因子校準：

確定校準范圍：根據標準裝置性能（如氣體活塞壓力計的參考端壓力修正、靜態膨脹法的漏氣率）判定校準壓力，最高壓力取儀器與標準裝置的共同上限；

數據采集：按壓力由低到高順序校準至少10個點（每個數量級≥5個點），穩定1min后同步讀取標準壓力值（pstd）與儀器示值（pind,UUC），記錄校準前后零點（poffs1,UUC、poffs2,UUC）；

數據處理：計算零點平均值（poffs,UUC=(poffs1+poffs2)/2）、零位變化量（δpoffs=poffs1-poffs2）、儀器測量值（pind=pind,UUC-poffs,UUC）及修正因子（fC=pstd/pind）。

零位變化量校準：按上述方法測量校準前后零點并計算偏差。